Services
Clean room services in the MEMS Lab for our partners and customers:
- Chemical Depositions
- Cleaning
- Dry Etching
- High-Temperature Processes
- Ion Implantation
- Mask Design & Fabrication
- Photolithography
- e-beam lithography
- Physical Depositions
- Wafer Bonding
- Wet Etching
- Packaging and testing
- Materials characterizations
Detailed price quote on each clean lab process can be requested by e-mail: dragon(at)mfa.kfki.hu.
Mikrotechnológiai Kutatólabor hozzáférési szabályzata külső felhasználók számára
Technológiai folyamatok tájékoztató jellegű árlistája