Clean room services in the MEMS Lab for our partners and customers:

• Chemical Depositions
• Cleaning
• Dry Etching
• High-Temperature Processes
• Ion Implantation
• Mask Design & Fabrication
• Photolithography
• e-beam lithography
• Physical Depositions
• Wafer Bonding
• Wet Etching
• Packaging and testing
• Materials characterizations

Detailed price quote on  each clean lab process can be requested by e-mail: dragon(at)mfa.kfki.hu.

Mikrotechnológiai Kutatólabor hozzáférési szabályzata külső felhasználók számára
Technológiai folyamatok tájékoztató jellegű árlistája